2024-01-07
上海微芸半导体科技有限公司（以下简称“微芸科技”或“公司”）的设备研发、市场营销工作持续推进。近期，公司成功获得国内某碳化硅代工厂批量订单，这一重要里程碑标志着公司研发生产的碳化硅刻蚀设备在均匀性和一致性方面已经基本满足客户量产的需求。
微芸科技于2021年成立，是一家专注于第三代化合物半导体的半导体设备制造商。公司的研发团队成员均来自行业内知名半导体设备厂商，拥有丰富的半导体刻蚀设备研发经验，通过先进的技术、严格的质量管控，利用在12寸半导体设备研发上的经验，不断创新，致力于为第三代化合物半导体市场提供更高性能、更贴近客户需求的量产设备。
微芸科技仅用两年时间就完成了ICP和CCP刻蚀设备的研发，并且获得了重复订单。目前公司在硅、碳化硅、二氧化硅、氮化硅、砷化镓、磷化铟等多种材料的刻蚀上都有比较成熟的整套工艺和设备方案。预计将在2024年第一季度完成针对氮化镓材料的原子层刻蚀设备研发。
诺延资本管理合伙人庄英铭表示：“诺延资本深耕半导体行业，坚持与创业者同行，通过产业链上下游为企业精准赋能。相信在国产替代的宏观背景下，在各股东的资本加持下，在政府的产业扶持下，微芸科技凭借过硬的技术能力和严谨的工作态度，一定会在众多的竞争者中脱颖而出，服务客户、回馈社会、实现企业价值。”
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